PRODUCTS 中古製品情報
厳しい品質基準をクリアした、
中古イオン注入装置をお届けしています
SMIT製イオン注入装置の中古品販売を行っております。旧式の部品についても、当社製作や最新化のご提案が可能です、お気軽にご相談ください。
スピードとコストミニマムを追求し、品質にも決して妥協はいたしません。新品と同等の厳しい基準をクリアし、ハイスペックを確認した製品のみをお届けしております。
01 高電流イオン注入装置 HC / High Current
02 中電流イオン注入装置 MC / Medium Current
03 高エネルギーイオン注入装置 HE / High Energy
在庫リスト
| モデル | ウェハサイズ | カテゴリ | エネルギー範囲 | 製造日 | 機番 | 改造アイテム(一例) | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ウェハサイズ変更 | TAIKO対応 | SiC対応 | Al注入 | H+注入 | ||||||
| NV-GSD-HE | 8 | 高エネ | 10keV~3000keV | 06/01 | L35 | 6~8inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| NV-GSD-HE | 8 | 高エネ | 10keV~3000keV | 01/06 | H96 | 6~8inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| NV-MC3 FOUP | 12 | 中電流 | 5Kev~750Kev | 00/12 | P06 | 6~12inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| NV-MC3 (CE/S2) | 12 | 中電流 | 5Kev~750Kev | 05/05 | P48 | 6~12inch | 6~8inch | 6~8inch | ✔ | ✔ |
| LEX3/LEX3-II/LEX3-M | 12 | 高電流 | 5keV~70keV | 06/11 | I75 | - | Asking | Asking | ✔ | |
| SHX-III/S | 12 | 高電流 | 0.2～50keV | 14/06 | AX34 | 8~12inch | Asking | Asking | ✔ | ✔ |
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