高エネルギー
イオン注入装置
PRODUCTS
中古製品情報
高い生産性が期待できる、
高エネルギーイオン注入装置の
グローバルスタンダード
SPEC
HE(H96）製品情報
- 機種
- NV-GSD-HE
- 機番
- H96
- 製番
- H080
- 製造日
- 2001/6
- エネルギー範囲
- 10keV～3,000keV
- ウェハサイズ
- 200mm
〈基本仕様/Basic Specification〉
- 電源､周波数
- 200V 3φ 60Hz
- カセット
- 4
- サーボ
- AC
- イオンソース
- ELS（no VAP）
- シャワータイプ
- N/A
- ガスボックス
- BF3, PH3, AsH3
