中電流
イオン注入装置
PRODUCTS
中古製品情報
世界最高レベルの
注入品質を追求した
最新鋭・高性能の
中電流イオン注入装置MC3-Ⅱ
SPEC
MC3(P06）製品情報
- 機種
- NV-MC3
- 機番
- P06
- 製番
- P006
- 製造日
- 2000/12
- エネルギー範囲
- 5keV～750keV
- ウェハサイズ
- 300mm
〈基本仕様/Basic Specification〉
- 電源､周波数
- 200V 3φ 50Hz
- カセット
- 4
- サーボ
- AC
- イオンソース
- ELS（no VAP）
- シャワータイプ
- エレクトロンシャワー
- ガスボックス
- BF3, PH3, AsH3
