中電流
イオン注入装置
PRODUCTS
中古製品情報
世界最高レベルの
注入品質を追求した
最新鋭・高性能の
中電流イオン注入装置MC3
SPEC
MC3CE(P48）製品情報
- 機種
- NV-MC3(CE/S2)
- 機番
- P48
- 製番
- P048
- 製造日
- 2005/05
- エネルギー範囲
- 5keV～750keV
- ウェハサイズ
- 300mm
〈基本仕様/Basic Specification〉
- 電源､周波数
- 200V 3φ 60Hz
- カセット
- 4
- サーボ
- AC
- イオンソース
- ELS（no VAP）
- シャワータイプ
- プラズマシャワー
- ガスボックス
- Ar,BF3, AsH3,PH3
