高電流
イオン注入装置
PRODUCTS
中古製品情報
高精度・高品質かつ高いビーム電流
での
極低エネルギーイオン注入を
可能にしたSHXシリーズ
SPEC
SHXⅢS(AX34）製品情報
- 機種
- SHX-Ⅲ/S
- 機番
- AX34
- 製番
- X053
- 製造日
- 2014/6
- エネルギー範囲
- 0.2keV～50keV
- ウェハサイズ
- 300mm
〈基本仕様/Basic Specification〉
- 電源､周波数
- 200V 3φ 50Hz
- カセット
- 4
- サーボ
- AC
- イオンソース
- ELS（no VAP）
- シャワータイプ
- プラズマシャワー
- ガスボックス
- BF3, PH3, O2×2
